Резист

Предмет Материаловедение

👍 Проверено Автор24

материал, изменяющий свои физико-химические свойства под воздействием определенного излучения и предназначенный для формирования рельефного изображения в процессе литографии.

Научные статьи на тему «Резист»

Наноэлектроника

применение метода тиснения происходит механическое вдавливание жесткого штампа в полимерную пленку резиста

Статья от экспертов

Аморфный оксид ванадия - резист для нанолитографии

Показана возможность использования тонких пленок аморфного оксида ванадия в качестве резиста для электронно-лучевой нанолитографии. Разработаны научно-технические основы процессов нанесения резиста, экспонирования и проявления, в том числе при помощи плазмохимического травления. Установлены основные параметры оксидно-ванадиевого резиста, в частности, высокая чувствительность (~ 10 -100 мкКл/см2) и высокое разрешение (

Creative Commons

Научный журнал

Передача цепи как метод модификации резиста на основе полиметилметакрилата

Предложен прием повышения чувствительности полиметилметакрилата как резиста субмикронной литографии к электронному лучу и рентгеновскому излучению синхротронного источника путем реакции передачи цепи на дисиланы различного химического строения при синтезе полимера.

Creative Commons

Научный журнал

Еще термины по предмету «Материаловедение»

Оксид

химическоe соединениe элемента с кислородом.

Полиэфиропласт

реактопласт, который формируется в результате отверждения ненасыщенной полиэфирной смолы.

Расширение тепловое

изменение линейных размеров тел при изменении температуры.

Смотреть больше терминов

Повышай знания с онлайн-тренажером от Автор24!

Напиши термин
Выбери определение из предложенных или загрузи свое
Тренажер от Автор24 поможет тебе выучить термины с помощью удобных и приятных карточек

Все самое важное и интересное в Telegram

Все сервисы Справочника в твоем телефоне! Просто напиши Боту, что ты ищешь и он быстро найдет нужную статью, лекцию или пособие для тебя!

Перейти в Telegram Bot